sp-iia

產品特點及主要性能指標:

    1、自動快速調節匹配網絡

    2、實時顯示入射功率及反射功率變化,?? 指示精度 3%

    3、顯示自偏壓

    4、實時顯示電容位置變化,可明顯展示工藝阻抗變化的特征

    5、采用真空電容調節(1KW以上)

    6、具有自動控制和手動控制兩種模式

    7、電壓輸入: 220v

    8、提供配合射頻電源的反射功率保護信號,與射頻電源配合使用

    9、直流電機驅動,保證運行期間合適的速率,從而提高匹配網絡的穩定性

    10、規格:500W—10KW